切片，清洗，制備絨面，周邊刻蝕，去除背面PN+結(jié)，制作上下電極，制作減反射膜，燒結(jié)，測試分檔等10步。 太陽能電池具體的制作工藝說明 （1） 切片：采用多線切割，將硅棒切割成正方形的硅片。 （2） 清洗：用常規(guī)的硅片清洗方法清洗，然后用酸（或堿）溶液將硅片表面切割損傷層除去30－50um。 （3） 制備絨面：用堿溶液對硅片進(jìn)行各向異性腐蝕在硅片表面制備絨面。 （4） 磷擴(kuò)散：采用涂布源（或液態(tài)源，或固態(tài)氮化磷片狀源）進(jìn)行擴(kuò)散，制成PN+結(jié)，結(jié)深一般為0.3－0.5um。 （5） 周邊刻蝕：擴(kuò)散時在硅片周邊表面形成的擴(kuò)散層，會使電池上下電極短路，用掩蔽濕法腐蝕或等離子干法腐蝕去除周邊擴(kuò)散層。 （6） 去除背面PN+結(jié)。常用濕法腐蝕或磨片法除去背面PN+結(jié)。 （7） 制作上下電極：用真空蒸鍍、化學(xué)鍍鎳或鋁漿印刷燒結(jié)等工藝。先制作下電極，然后制作上電極。鋁漿印刷是大量采用的工藝方法。 （8） 制作減反射膜：為了減少入反射損失，要在硅片表面上覆蓋一層減反射膜。制作減反射膜的材料有MgF2 ，SiO2 ，Al2O3 ，SiO ，Si3N4 ，TiO2 ，Ta2O5等。工藝方法可用真空鍍膜法、離子鍍膜法，濺射法、印刷法、PECVD法或噴涂法等。 （9） 燒結(jié)：將電池芯片燒結(jié)于鎳或銅的底板上。 （10）測試分檔：按規(guī)定參數(shù)規(guī)范，測試分類。 生產(chǎn)電池片的工藝比較復(fù)雜，一般要經(jīng)過硅片檢測、表面制絨、擴(kuò)散制結(jié)、去磷硅玻璃、等離子刻蝕、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、快速燒結(jié)和檢測分裝等主要步驟。